標竿案例
SPT Cu製程iFXK1 Dry Pump真空節能器
2188
SPT機台
Dry Pump
蒸氣幫浦
真空節能器
109年度
案例編號:109-C03-107-PE01 | 行業別:電子零組件製造業 | 技術別:製程設備(PE)
節省電力
270
(千度)
能源節約量
26
(公秉油當量/年)
減碳量
138
(公噸/年)
節省費用
595 仟元/年
投資金額
0 仟元/年
回收年限
0.0

案例說明

SPT機台iFXK1 Dry Pump透過真空節能器將扭力降低,進而減少電力的耗損機台產能差異會有不同kWh計算量.

設計理念或改善流程

利用真空節能器(PSU)減輕Dry Pump在排氣端之壓力,排氣出口產生真空並維持負壓,因而降低Dry Pump最後⼀級的負擔,使其排氣端成為最後⼀級。其原理等同於加裝另⼀顆Dry Pump於後端,其PSU所使用的氣體原理與蒸氣幫浦相同。安裝PSU後,真空泵的排氣將從大氣壓1,310mbar減至100mbar以下,最後一級的壓縮比率的負擔也隨之降低。(1.317kWh(改善前單片耗電)- 1.044kWh(改善後單片耗電))* 每日片數) - 36.288(CDA耗能)=每日節電量

109-C03-108-PE01-01 真空節能器將扭力降低節能
109-C03-107-PE01-02 真空節能器將扭力降低效益評估

相關推薦案例-技術別
pic
Dry Pump真空節能模組導入
pic
機台真空Pump 導入ERM (...
pic
CVD L/L pump加裝真空...
pic
ULVAC Sputter PU...
pic
真空系統節能最佳化工程
pic
機台熱排氣減量
pic
機台熱排氣減量
pic
RIE L/L pump DP ...
pic
ML5AE1 L5A+L5B T...
pic
ML5AT1 L5B B8SPT...
pic
SPT OVEN熱逸散改善
pic
特殊機台Local Scrubb...
pic
Dry pump節能專案
pic
ML5AE1 L5A+L5B T...
pic
PVD Endura tools...
pic
L6B SEE VAS Dry ...
pic
1HDP1 新機採用節能Dry ...
pic
Etch MXP新機採用節能Dr...
Top