標竿案例
L6B SEE VAS Dry Pump節能改造
1087
Dry Pump
減壓裝置
109年度
案例編號：109-C03-107-PE05　｜　行業別：電子零組件製造業　｜　技術別：製程設備(PE)
節省電力
206
(千度)
能源節約量
20
(公秉油當量/年)
減碳量
105
(公噸/年)
節省費用
453 仟元/年
投資金額
1,260 仟元/年
回收年限
1.6 年

案例說明

Dry pump排氣口加裝減壓裝置，藉以達到省電節能功效

設計理念或改善流程

利用節能裝置減輕DP在排氣端的壓力， 排氣出口端產生真空並維持負壓，降低最後一級的負擔，達到省電效果

109-C03-107-PE04-01 Dry Pump節能改造

相關推薦案例-技術別
pic
Dry Pump真空節能模組導入
pic
PVD Endura tools...
pic
機台真空Pump 導入ERM (...
pic
Etch MXP新機採用節能Dr...
pic
製程設備機台chamber pu...
pic
1HDP1 新機採用節能Dry ...
pic
Dry Pump真空節能模組導入
pic
PVD Endura tools...
pic
機台真空Pump 導入ERM (...
pic
Etch MXP新機採用節能Dr...
pic
製程設備機台chamber pu...
pic
1HDP1 新機採用節能Dry ...
pic
PVD Endura tools...
pic
Etch MXP新機採用節能Dr...
pic
Dry pump節能專案
pic
1HDP1 新機採用節能Dry ...
pic
SPT Cu製程iFXK1 Dr...
pic
2HDP2、 6HDPH、 7H...
Top