ULVAC Sputter PUMP節電改善
3043
製程
抽水機
排氣
108年度
案例編號：108-C05-107-PE07 ｜ 行業別：電子零組件製造業 ｜ 技術別：製程設備(PE)
69
(千度)
7
(公秉油當量/年)
37
(公噸/年)
153 仟元/年
275 仟元/年
1.8 年
案例說明
導入UCPT(ULVAC PUMP配合廠商) DEMO節能裝置改善pump(型號LR1200)運轉效能。
設計理念或改善流程
CF SPT ITO利用節能裝置減輕Dry Pump在排氣端之壓力，排氣出口端產生真空並維持負壓，因而降低乾泵最後一級的負擔，使其排氣端成為最後一級。
