ULVAC Sputter PUMP節電改善
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製程
抽水機
排氣
108年度
案例編號:108-C05-107-PE07 | 行業別:電子零組件製造業 | 技術別:製程設備(PE)
節省電力
69
(千度)
能源節約量
7
(公秉油當量/年)
減碳量
37
(公噸/年)
節省費用
153 仟元/年
投資金額
275 仟元/年
回收年限
1.8 年
案例說明
導入UCPT(ULVAC PUMP配合廠商) DEMO節能裝置改善pump(型號LR1200)運轉效能。
設計理念或改善流程
CF SPT ITO利用節能裝置減輕Dry Pump在排氣端之壓力,排氣出口端產生真空並維持負壓,因而降低乾泵最後一級的負擔,使其排氣端成為最後一級。