標竿案例
ULVAC Sputter PUMP節電改善
2892
製程
抽水機
排氣
108年度
案例編號:108-C05-107-PE07 | 行業別:電子零組件製造業 | 技術別:製程設備(PE)
節省電力
69
(千度)
能源節約量
7
(公秉油當量/年)
減碳量
37
(公噸/年)
節省費用
153 仟元/年
投資金額
275 仟元/年
回收年限
1.8

案例說明

導入UCPT(ULVAC PUMP配合廠商) DEMO節能裝置改善pump(型號LR1200)運轉效能。

設計理念或改善流程

CF SPT ITO利用節能裝置減輕Dry Pump在排氣端之壓力,排氣出口端產生真空並維持負壓,因而降低乾泵最後一級的負擔,使其排氣端成為最後一級。

相關推薦案例-技術別
pic
Dry Pump真空節能模組導入
pic
機台真空Pump 導入ERM (...
pic
真空系統節能最佳化工程
pic
TF-LL/TM更換節能pump
pic
CVD L/L pump加裝真空...
pic
機台熱排氣減量
pic
Dry pump節能專案
pic
CVD L/L pump加裝真空...
pic
空壓機系統按裝無耗氣卻水器
pic
CDA節能
pic
加裝電梯電力回收裝置
pic
無塵室節能
pic
Dry Pump真空節能模組導入
pic
機台真空Pump 導入ERM (...
pic
真空系統節能最佳化工程
pic
TF-LL/TM更換節能pump
pic
CVD L/L pump加裝真空...
pic
機台熱排氣減量
Top