標竿案例
機台真空Pump 導入ERM (PUMP MODEL: iK500/ iH600/ iH1000/ ixH1210/ iH1800),共49台
3026
機台真空
抽水機
電子資源管理系統
伯努利原理
108年度
案例編號:108-C02-105-PE04 | 行業別:電子零組件製造業 | 技術別:製程設備(PE)
節省電力
429
(千度)
能源節約量
41
(公秉油當量/年)
減碳量
228
(公噸/年)
節省費用
987 仟元/年
投資金額
1,960 仟元/年
回收年限
2.0

案例說明

利用伯努利原理減少dry pump電力消耗,ERM適合安裝於LoadLock/ transfer/ buffer /system chamber,主要裝於dry pump排氣端端口,利用伯努利原理來降低pump排氣端的電量。 預計安裝ERM之後,約可減少35% ~55%的耗電量。

設計理念或改善流程

原理- pump的驅動,是藉由每階轉子LP1至LP5,一個chamber移交至下一個chamber,壓縮氣體來產生真空。而電力的損耗取決於pump的inlet端和outlet端兩邊壓差的變化,當outlet壓差比inlet壓差大時,此時的壓差會造成電力的消耗。 ERM即一協助pump 減輕outlet端壓力,讓outlet端排氣能持續保持真空狀態,使LP5後端維持負壓,降低LP5階段的負擔,LP4 旋轉被減少相對的pump本身電力消耗也明顯地減少。

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