節省電力

429

(千度)

能源節約量

41

(公秉油當量/年)

減碳量

228

(公噸/年)

節省費用

987 仟元/年

投資金額

1,960 仟元/年

回收年限

2.0 年

案例說明

利用伯努利原理減少dry pump電力消耗，ERM適合安裝於LoadLock/ transfer/ buffer /system chamber，主要裝於dry pump排氣端端口，利用伯努利原理來降低pump排氣端的電量。 預計安裝ERM之後，約可減少35% ~55%的耗電量。

設計理念或改善流程

原理- pump的驅動，是藉由每階轉子LP1至LP5，一個chamber移交至下一個chamber，壓縮氣體來產生真空。而電力的損耗取決於pump的inlet端和outlet端兩邊壓差的變化，當outlet壓差比inlet壓差大時，此時的壓差會造成電力的消耗。 ERM即一協助pump 減輕outlet端壓力，讓outlet端排氣能持續保持真空狀態，使LP5後端維持負壓，降低LP5階段的負擔，LP4 旋轉被減少相對的pump本身電力消耗也明顯地減少。