標竿案例
CVD L/L pump加裝真空節能產生器
2393
製程
抽水機
真空管
108年度
案例編號:108-C05-107-PE04 | 行業別:電子零組件製造業 | 技術別:製程設備(PE)
節省電力
285
(千度)
能源節約量
27
(公秉油當量/年)
減碳量
152
(公噸/年)
節省費用
629 仟元/年
投資金額
490 仟元/年
回收年限
0.8

案例說明

CVD EQ Load Lock Pump於排氣管增加節能裝置減低真空管壓力負荷,,減輕Dry Pump在排氣端之壓力、使PUMP Loading減低,可達到減壓省電。

設計理念或改善流程

EQ Dry Pump於製程中,正常運轉抽取時間一般僅在50%以下,剩餘時間多處於空轉狀態。在不影響製程情況下,若能減少Dry Pump空轉時壓力,即可降低電力的耗損。A廠商(ENTY)節能效益約為36%,B廠商(PSU-M2-Type)節能效益實測可達48%。
目前新式(C-Type)節能產生器(預估可比M2-Type再省20%)測試陸續安排中,將推廣應用至CVD T/C pump。安裝至CVD200~800,主機台L/L pump 14 ea.並進行電錶。

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