標竿案例
TF-LL/TM更換節能pump
1780
製程
泵浦
107年度
案例編號:107-C03-105-PE03 | 行業別:電子零組件製造業 | 技術別:製程設備(PE)
節省電力
2,488
(千度)
能源節約量
238
(公秉油當量/年)
減碳量
1,319
(公噸/年)
節省費用
5,723 仟元/年
投資金額
15,680 仟元/年
回收年限
2.7

案例說明

LL/TM pump汰換為節能pump工程。(49台) 改用耗電率低的節能pump,可降低用電量及CO2排放量。 汰舊換新後,可power saving約15.1%。

設計理念或改善流程

改善前:

原Loadlock/TM chamber為Ebara-A70W、Edwards-iH600及Kashiyama-SD306(*無Special gas)之不同type dry pump,因用電耗損量大,平均每台每月電量約244,224(kW-hr/m),49台pump平均約用2,930,688(kW-hr/y),Cost約7,912,860(NTD/y),造成能源及Cost浪費。

改善前

改善後:

更換節能pump(*EV-S100,MU100X) for Loadlock/TM chamber,共49台pump,平均約用442,368(kW-hr/y),Cost約1,194,384(NTD/y),共約降15.1%。

改善後

效益計算說明:

節省電力:[(6.827kW×24×365×49=2,930,688)-(1.03kW×24×365×49=442,368)]=2,488,320/=2,488.32千度/年。

節省費用:2,488.32千度×2.3/=5,723.14仟元/年。

減少CO2排放量:2,488.32千度×0.53Kg/度=1,318.81公噸/年。

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