節省電力

2,488

(千度)

能源節約量

238

(公秉油當量/年)

減碳量

1,319

(公噸/年)

節省費用

5,723 仟元/年

投資金額

15,680 仟元/年

回收年限

2.7 年

案例說明

LL/TM pump汰換為節能pump工程。(49台) 改用耗電率低的節能pump，可降低用電量及CO2排放量。 汰舊換新後，可power saving約15.1%。

設計理念或改善流程

改善前：

原Loadlock/TM chamber為Ebara-A70W、Edwards-iH600及Kashiyama-SD306(*無Special gas)之不同type dry pump，因用電耗損量大，平均每台每月電量約244,224(kW-hr/m)，49台pump平均約用2,930,688(kW-hr/y)，Cost約7,912,860(NTD/y)，造成能源及Cost浪費。

改善前

改善後：

更換節能pump(*EV-S100,MU100X) for Loadlock/TM chamber，共49台pump，平均約用442,368(kW-hr/y)，Cost約1,194,384(NTD/y)，共約降15.1%。

改善後

效益計算說明：

節省電力：[(6.827kW×24×365×49=2,930,688)-(1.03kW×24×365×49=442,368)]=2,488,320度/年=2,488.32千度/年。

節省費用：2,488.32千度×2.3元/度=5,723.14仟元/年。