節省電力

130

(千度)

能源節約量

12

(公秉油當量/年)

減碳量

66

(公噸/年)

節省費用

289 仟元/年

投資金額

0 仟元/年

回收年限

0.0 年

案例說明

關閉SPT S Chamber 與 LL 之N2流量減少背壓,使pump電流可達到最小值

設計理念或改善流程

L5B SPT有9台, LL CH有5顆DRY PUMP(未裝真空節能產生器) ,S CH 有1顆DRY PUMP (有裝真空節能產生器),N2 為purge PUMP 真空室,SPT 非特氣製程,關掉N2流量減少背壓
節能效益計算式:
1.LL CH 單顆PUMP 節省1A
月節電:1A*208V*1.732*0.9*24*5顆*9台*58% idle*365天=74,107.17kWh
2. S CH 單顆PUMP 節省4A
月節電:4A*208V*1.732*0.9*24*1顆*5台*99% idle*365天=56,185.67kWh
3.每年節電效益：74,107.17+56,185.67=130,292.84 kWh/year
抑制二氧化碳排放量= 130,293 kWh*0.509 Kg*二氧化碳/kWh/1,000 = 66.319 公噸/年.

110-C03-109-PE07_ ML5AT1 L5B B8SPT10~90 sufab Dry pump N2 流量關閉減少背壓節能