2HDP2、 6HDPH、 7HDPH 新機採用節能Dry pump
1345
CVD HDP
節能Dry pump
109年度
案例編號：109-C02-108-PE04 ｜ 行業別：電子零組件製造業 ｜ 技術別：製程設備(PE)
336
(千度)
32
(公秉油當量/年)
171
(公噸/年)
740 仟元/年
6,400 仟元/年
8.6 年
案例說明
2HDP2、 6HDPH、 7HDPH 新機採用節能Dry pump
設計理念或改善流程
1. 選用High efficiency machine
2. CVD HDP-USG Process 採用節能Dry pump from EBARA A70W (以前安裝的款式較耗能)to EABRA EVM-102N-BE (新款節能式變頻 pump)
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109-C02-108-PE04-01 汰換 dry pump為變頻pump.jpg)
109-C02-108-PE04-02 汰換 dry pump為變頻pump之PDCA流程
