標竿案例
ML5AE1 L5A+L5B TEL LL dry pump N2最佳化
2073
dry pump
真空節能產生器
白努力原理
110年度
案例編號:110-C03-110-PE02 | 行業別:電子零組件製造業 | 技術別:製程設備(PE)
節省電力
184
(千度)
能源節約量
18
(公秉油當量/年)
減碳量
94
(公噸/年)
節省費用
409 仟元/年
投資金額
0 仟元/年
回收年限
0.0

案例說明

節能產生器N2壓力調至最佳,使節電效益達到最大。

設計理念或改善流程

1.真空 Dry Pump 加裝真空節能產生器係為運用白努力原理, 在Pump 後端加一管路通入N2或CDA 用以加快氣體流速→降低管內壓力→真空牽引→降低Pump轉子作工能耗
2.依方程式: 調整節能產生氣N2壓力, 達到降低Pump 能耗目地
依方程式: N2壓力與Pump 電流值呈反比
DRY Etch L/L Pump 調整N2 壓力設定50→70psi 可得到最佳值, Pump 電流值可降低2.1A
節能效益計算式:
[(各台電流差值x電壓x1.732*0.85/1000 x每天時數)-N2每天耗電量] x每年天數x台數
[2.1A*220V*1.732*0.85/1000*24h-4.36kWh(N2耗電量)]*365天*40台= 184,219 kWh
抑制二氧化碳排放量=184,219 kWh*0.509 Kg二氧化碳/kWh /1,000=93.767 公噸/年

110-C03-110-PE02_ chiller pump更換為省電pump。

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