1HDP1 新機採用節能Dry pump
1193
HDPCVD
節能Dry pump
109年度
案例編號：109-C02-108-PE03 ｜ 行業別：電子零組件製造業 ｜ 技術別：製程設備(PE)
92
(千度)
9
(公秉油當量/年)
47
(公噸/年)
202 仟元/年
1,050 仟元/年
5.2 年
案例說明
1HDP1 新機採用節能Dry pump
設計理念或改善流程
1.選用High efficiency machine
2.HDPCVD (IMD FSG) Process 1HDP1新機採用節能Dry pump from
EDWARDS (以前安裝的款式較耗能)to EABRA ESR100W-N (新款節能式變頻
pump
.jpg)
109-C02-108-PE03-01 汰換 dry pump為變頻pump.jpg)
109-C02-108-PE03-02 汰換 dry pump為變頻pump之PDCA流程
