標竿案例
PVD Endura tools採用節能Dry pump
1447
PVD
Dry pump
節能式變頻
109年度
案例編號：109-C02-108-PE02　｜　行業別：電子零組件製造業　｜　技術別：製程設備(PE)
節省電力
434
(千度)
能源節約量
41
(公秉油當量/年)
減碳量
221
(公噸/年)
節省費用
954 仟元/年
投資金額
3,150 仟元/年
回收年限
3.3 年

案例說明

1SIGMU (4EA)/11SPUV(3EA)/6SPUF(2EA)採用節能Dry pump安裝

設計理念或改善流程

1.選用High efficiency machine
2. PVD tool 採用節能Dry pump from Alcatel (以前安裝的款式較耗能)to EABRA ESR100W-N (新款節能式變頻 pump)

109-C02-108-PE02-01 汰換 dry pump為變頻pump
109-C02-108-PE02-02 汰換 dry pump為變頻pump之PDCA流程

相關推薦案例-技術別
pic
Dry Pump真空節能模組導入
pic
機台真空Pump 導入ERM (...
pic
2HDP2、 6HDPH、 7H...
pic
Etch MXP新機採用節能Dr...
pic
ULVAC Sputter PU...
pic
TF-LL/TM更換節能pump
pic
Dry Pump真空節能模組導入
pic
機台真空Pump 導入ERM (...
pic
2HDP2、 6HDPH、 7H...
pic
Etch MXP新機採用節能Dr...
pic
TF-LL/TM更換節能pump
pic
製程設備機台chamber pu...
pic
Dry pump節能專案
pic
2HDP2、 6HDPH、 7H...
pic
Etch MXP新機採用節能Dr...
pic
SPT Cu製程iFXK1 Dr...
pic
L6B SEE VAS Dry ...
pic
1HDP1 新機採用節能Dry ...
Top