標竿案例
PVD Endura tools採用節能Dry pump
1390
PVD
Dry pump
節能式變頻
109年度
案例編號：109-C02-108-PE02　｜　行業別：電子零組件製造業　｜　技術別：製程設備(PE)
節省電力
434
(千度)
能源節約量
41
(公秉油當量/年)
減碳量
221
(公噸/年)
節省費用
954 仟元/年
投資金額
3,150 仟元/年
回收年限
3.3 年

案例說明

1SIGMU (4EA)/11SPUV(3EA)/6SPUF(2EA)採用節能Dry pump安裝

設計理念或改善流程

1.選用High efficiency machine
2. PVD tool 採用節能Dry pump from Alcatel (以前安裝的款式較耗能)to EABRA ESR100W-N (新款節能式變頻 pump)

109-C02-108-PE02-01 汰換 dry pump為變頻pump
109-C02-108-PE02-02 汰換 dry pump為變頻pump之PDCA流程

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