RIE L/L pump DP Exhaust加裝真空產生器節能
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製程
白努利定律
抽水機
真空產生器
108年度
案例編號：108-C05-107-PE05 ｜ 行業別：電子零組件製造業 ｜ 技術別：製程設備(PE)
217
(千度)
21
(公秉油當量/年)
115
(公噸/年)
478 仟元/年
1 仟元/年
0.7 年
案例說明
RIE EQ L/L pump降低負載利用白努利定律降低pump負載，實施機台共有: Phase1(TEL) RIE300/700/800(3台)、GED2 Phase(共4台) RIEA00/B00/C00/D00安裝真空產生器。
設計理念或改善流程
共計14台dry pump安裝真空產生器。
