標竿案例
RIE L/L pump DP Exhaust加裝真空產生器節能
2372
製程
白努利定律
抽水機
真空產生器
108年度
案例編號:108-C05-107-PE05 | 行業別:電子零組件製造業 | 技術別:製程設備(PE)
節省電力
217
(千度)
能源節約量
21
(公秉油當量/年)
減碳量
115
(公噸/年)
節省費用
478 仟元/年
投資金額
1 仟元/年
回收年限
0.7

案例說明

RIE EQ L/L pump降低負載利用白努利定律降低pump負載,實施機台共有: Phase1(TEL) RIE300/700/800(3台)、GED2 Phase(共4台) RIEA00/B00/C00/D00安裝真空產生器。

設計理念或改善流程

共計14台dry pump安裝真空產生器。

相關推薦案例-技術別
pic
Dry Pump真空節能模組導入
pic
機台真空Pump 導入ERM (...
pic
機台熱排氣減量
pic
ULVAC Sputter PU...
pic
真空系統節能最佳化工程
pic
CVD L/L pump加裝真空...
pic
機台熱排氣減量
pic
空調冰水機設備節能
pic
空壓機系統改善
pic
過濾器裝設壓差管控
pic
冷卻水塔節能最優化
pic
SPT Cu製程iFXK1 Dr...
pic
Dry Pump真空節能模組導入
pic
機台真空Pump 導入ERM (...
pic
ULVAC Sputter PU...
pic
真空系統節能最佳化工程
pic
CVD L/L pump加裝真空...
pic
TF-LL/TM更換節能pump
Top