製程設備機台chamber pump line heat jacket energy saving
1501
Chamber
jacket
109年度
案例編號：109-C04-108-PE11 ｜ 行業別：電子零組件製造業 ｜ 技術別：製程設備(PE)
496
(千度)
47
(公秉油當量/年)
252
(公噸/年)
1,239 仟元/年
2,838 仟元/年
1.6 年
案例說明
降低製程設備機台chamber 加熱帶設定溫度，使加熱帶不作功，以達節能效益。
設計理念或改善流程
改善前：
製程設備機台chamber pump line 加熱帶每台有兩組pumping line共耗電82,619.96 (kWh-year)
改善後：
製程設備機台chamber pump line 加熱帶溫度降低改善後，每台有兩組pumping line共耗電0(kWh-year)
