標竿案例
Etch MXP新機採用節能Dry pump
1420
MXP
Dry pump
變頻
109年度
案例編號：109-C02-108-PE01　｜　行業別：電子零組件製造業　｜　技術別：製程設備(PE)
節省電力
126
(千度)
能源節約量
12
(公秉油當量/年)
減碳量
64
(公噸/年)
節省費用
278 仟元/年
投資金額
1,400 仟元/年
回收年限
5.0 年

案例說明

MXP(8MXP6#0,9MXP6#L,10MXP6#0 2MXP4#0)更換節能Dry pump 4 台

設計理念或改善流程

1.選用High efficiency machine
2. Process chamber change new tool dry pump from EABRA A-70W to EABRA ESR100WN 變頻 pump

109-C02-108-PE01-01 汰換 dry pump為變頻pump
109-C02-108-PE01-02 汰換 dry pump為變頻pump之PDCA流程

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