On-Load clean trigger time extend for energy saving
1172
trigger time
FOUP
Chamber
109年度
案例編號:109-C04-108-PE02 | 行業別:電子零組件製造業 | 技術別:製程設備(PE)
節省電力
868
(千度)
能源節約量
83
(公秉油當量/年)
減碳量
442
(公噸/年)
節省費用
1,085 仟元/年
投資金額
1 仟元/年
回收年限
0.0 年
案例說明
On-Load Clean trigger min time 係指機台FOUP unload 到下一盒FOUP load 的時間, 如超過設定的min time, 則機台Chamber 將執行 On-Load clean recipe. 藉由延長On load Clean trigger min time 由300 second to 600 second,以減少chamber 執行on load clean recipe次數進而達到節能效果. 經統計改善前Chamber 執行on load clean recipe次數及實際量測執行on load clean recipe耗能(KWH), 預期節能0.86M KWH/Y.
設計理念或改善流程
改善前:
On load Clean trigger min time 為 300 second
改善後:
On load Clean trigger min time 改為 600 second每台每天可減少On load Clean次數為13.62次,每次On load Clean 損耗5.458 kWh
109-C04-108-PE02-01 On load Clean trigger min time改善
109-C04-108-PE02-01 On load Clean trigger min time改善