標竿案例
7ALIN3 新機採用節能Dry pump
1241
Chamber
節能Dry pump
109年度
案例編號：109-C02-108-PE05　｜　行業別：電子零組件製造業　｜　技術別：製程設備(PE)
節省電力
158
(千度)
能源節約量
15
(公秉油當量/年)
減碳量
80
(公噸/年)
節省費用
347 仟元/年
投資金額
1,750 仟元/年
回收年限
5.0 年

案例說明

7ALIN3 新機採用節能Dry pump

設計理念或改善流程

1. 選用High efficiency machine

2. Process chamber change new tool dry pump from EABRA A-70W to EABRA ESR100WN 變頻 pump109-C02-108-PE05-01 汰換 dry pump為變頻pump

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