PCW flow 減量
855
流量
調整
冷卻水
節能
103年度
案例編號：103-PE-009 ｜ 行業別：電子零組件製造業 ｜ 技術別：製程設備(PE)
1,198
(千度)
115
(公秉油當量/年)
664
(公噸/年)
2,912 仟元/年
0 仟元/年
0.0 年
案例說明
該廠由於PVD設備(FPVD DI-MAX機台的用水量)傳簽資料的流量值與目前流量相差2~3倍，因此 Co-work with PVD EE 進行PCW 流量的調整，以節省電力。
設計理念或改善流程
該廠善後其狀況如下：
→150gpm(現場流量)>> 49.40gpm(設備傳簽190LPM)
與各廠Align (F14 & F12) 目前PVD減量計畫的部份
→Co-work with PVD EE目前僅有下列製程進行PCW 流量的調整:
