標竿案例
PCW flow 減量
842
流量
調整
冷卻水
節能
103年度
案例編號:103-PE-009 | 行業別:電子零組件製造業 | 技術別:製程設備(PE)
節省電力
1,198
(千度)
能源節約量
115
(公秉油當量/年)
減碳量
664
(公噸/年)
節省費用
2,912 仟元/年
投資金額
0 仟元/年
回收年限
0.0

案例說明

該廠由於PVD設備(FPVD DI-MAX機台的用水量)傳簽資料的流量值與目前流量相差2~3倍,因此 Co-work with PVD EE 進行PCW 流量的調整,以節省電力。

設計理念或改善流程

該廠善後其狀況如下:

150gpm(現場流量)>> 49.40gpm(設備傳簽190LPM)

與各廠Align (F14 & F12)  目前PVD減量計畫的部份

Co-work with PVD EE目前僅有下列製程進行PCW 流量的調整:

 

相關推薦案例-技術別
pic
機台熱排氣減量
pic
製程排氣減量
pic
TF-LL/TM更換節能pump
pic
Dry Pump真空節能模組導入
pic
ULVAC Sputter PU...
pic
機台真空Pump 導入ERM (...
pic
機台熱排氣減量
pic
特殊機台Local Scrubb...
pic
PCW pump service...
pic
PCW流量調降節電
pic
Off Wet clean DI...
pic
MAU出風溫度最佳化
pic
製程排氣減量
pic
特殊機台Local Scrubb...
pic
PCW pump service...
pic
Dry pump節能專案
pic
PCW流量調降節電
pic
設備保溫改善節省電力
Top