PCW flow 減量
842
流量
調整
冷卻水
節能
103年度
案例編號:103-PE-009 | 行業別:電子零組件製造業 | 技術別:製程設備(PE)
節省電力
1,198
(千度)
能源節約量
115
(公秉油當量/年)
減碳量
664
(公噸/年)
節省費用
2,912 仟元/年
投資金額
0 仟元/年
回收年限
0.0 年
案例說明
該廠由於PVD設備(FPVD DI-MAX機台的用水量)傳簽資料的流量值與目前流量相差2~3倍,因此 Co-work with PVD EE 進行PCW 流量的調整,以節省電力。
設計理念或改善流程
該廠善後其狀況如下:
→150gpm(現場流量)>> 49.40gpm(設備傳簽190LPM)
與各廠Align (F14 & F12) 目前PVD減量計畫的部份
→Co-work with PVD EE目前僅有下列製程進行PCW 流量的調整: