案例說明

該廠降低製程排氣靜壓設計，減少排氣風車之耗電量與製程排氣風量，並減少昂貴的潔淨室空調補給氣耗量。

設計理念或改善流程

該廠改善狀況如下：

1)確認廠務Gas VMB 合理抽氣量，重新調整風管壓力設定。

2)IMP housing 散熱風扇排風量量測，與設備確認機台壓力不影響機台運轉後，重新設定風管設定壓力。

3)Local scrubber 管路與housing 銜接點開孔過大，無完全氣密，加強氣密後，將壓力調降(圖二)。

4)廢水桶槽over flow 管路加裝水封膜，提高桶槽氣密，避免抽取過量空氣(圖三)。

5)改善量：

改善量(CMH)

改善廠務Gas VMB 排氣量 5,000

改善IMP 區機台排氣量 23,100

改善LSC 熱氣排氣量 19,800

改善廢水桶槽排氣量 1,850

計 49,750 (表一)

6)說明：

由上圖系統流程可知當減少exhaust風量時，亦可減少clean room MAU之送風量。因此調降exhaust風量，同時可減少exhaust與clean room MAU之耗電量，進而降低冰機及相關附屬設備的耗電。因此降低exhaust風量，可有效降低整体耗電量。

經計算潔淨室排氣量每1CMH總耗電量為0.0049 kW。

圖二、LSC機台氣密改善方式：

管路與機台端的間隙以鐵皮包覆並以鋁箔膠帶加強氣密，增加exhaust的抽氣效率，避免抽取過量空氣。

圖三、廢水桶槽排氣減量改善方式：

為避免exhaust 抽氣經由overflow pipe，抽取過量空氣，在overflow 管貼上一層水封模，可提高桶槽氣密，避免抽取過量空氣。