標竿案例
製程排氣減量
1405
排氣
潔淨室
節能
101年度
案例編號:101-PE-004 | 行業別:電子零組件製造業 | 技術別:製程設備(PE)
節省電力
2,135
(千度)
能源節約量
204
(公秉油當量/年)
減碳量
1,183
(公噸/年)
節省費用
4,912 仟元/年
投資金額
19,124 仟元/年
回收年限
3.9

案例說明

該廠降低製程排氣靜壓設計,減少排氣風車之耗電量與製程排氣風量,並減少昂貴的潔淨室空調補給氣耗量。

設計理念或改善流程

該廠改善狀況如下:

1)確認廠務Gas VMB 合理抽氣量,重新調整風管壓力設定。

2)IMP housing 散熱風扇排風量量測,與設備確認機台壓力不影響機台運轉後, 重新設定風管設定壓力。

3)Local scrubber 管路與housing 銜接點開孔過大,無完全氣密,加強氣密後,將壓力調降(圖二)

4)廢水桶槽over flow 管路加裝水封膜,提高桶槽氣密,避免抽取過量空氣(圖三)

5)改善量:

                       改善量(CMH)

改善廠務Gas VMB 排氣量    5,000

改善IMP  區機台排氣量      23,100

改善LSC 熱氣排氣量          19,800

改善廢水桶槽排氣量             1,850

                                      49,750  (表一)

6)說明:

 

由上圖系統流程可知當減少exhaust風量時,亦可減少clean room MAU之送風量。因此調降exhaust風量,同時可減少exhaustclean room MAU之耗電量,進而降低冰機及相關附屬設備的耗電。因此降低exhaust風量,可有效降低整体耗電量。

經計算潔淨室排氣量每1CMH總耗電量為0.0049 kW

 

圖二、LSC機台氣密改善方式:

管路與機台端的間隙以鐵皮包覆並以鋁箔膠帶加強氣密,增加exhaust的抽氣效率,避免抽取過量空氣。

 

 

圖三、廢水桶槽排氣減量改善方式:

為避免exhaust 抽氣經由overflow pipe,抽取過量空氣,在overflow 管貼上一層水封模,可提高桶槽氣密,避免抽取過量空氣。

 

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