CVD DMS cleaner AK idle mode
1018
CVD
DMS
109年度
案例編號：109-C03-108-PE08 ｜ 行業別：電子零組件製造業 ｜ 技術別：製程設備(PE)
160
(千度)
15
(公秉油當量/年)
81
(公噸/年)
352 仟元/年
36 仟元/年
0.0 年
案例說明
修改軟體使玻璃停片時AK CDA off
設計理念或改善流程
動機：
L6B CVD cleaner 有兩種機型( DMS 與Evatech)
DMS AK CDA 玻璃片間Idle 時還是全流量
在供應而Evatech 則是off的
對策：
AS Docking cleaner 玻璃片間AK CDA off àDMS 軟體進廠修改程式
玻璃片間減少CDA用量，轉換為減少用電量2,718.65(修改前)-1,408(修改後)=1,310.6kWh/天(每天節能)
109-C03-109-PE01-01 修改軟體使玻璃停片
