製程設備機台 2ND source magnetron
771
STD
CIP
109年度
案例編號：109-C04-108-PE09 ｜ 行業別：電子零組件製造業 ｜ 技術別：製程設備(PE)
534
(千度)
51
(公秉油當量/年)
272
(公噸/年)
1,334 仟元/年
2,838 仟元/年
1.6 年
案例說明
將XXX製程改用2nd source magnetron 來增加lifetime，且因設計有較好散熱效果進而達成省電效果。
設計理念或改善流程
改善前：
每一台使用原type的magnetron 耗電65.65kW
改善後：
每一台使用2nd source的magnetron 耗電57.75kW
每一台節電=65.65-57.75=7.9 (kW)
