Epitaxial tool exhaust reduction
2114
風量
排氣
洩漏
108年度
案例編號：108-C01-105-PE02 ｜ 行業別：電子零組件製造業 ｜ 技術別：製程設備(PE)
118
(千度)
11
(公秉油當量/年)
62
(公噸/年)
272 仟元/年
300 仟元/年
1.1 年
案例說明
Epitaxial tool SEX : Gas Panel & EV Box 風量SSPS要求過高，造成能源的損耗。
設計理念或改善流程
委託財團法人安全技術中心(SAHTECH)模擬Epitaxial tool最大洩漏風量的條件下: (安全減量)
1. Gas Panel Exhaust管內風量調降至 : 788CMH
2. EV Box Exhaust管內風量調降至 : 656CMH
安全減量效益 : 66%。
