F12B-EUVL use Cxxx XLRxxx type chamber(L4)
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製程
透鏡模組
激光
108年度
案例編號:108-C01-107-PE20 | 行業別:電子零組件製造業 | 技術別:製程設備(PE)
節省電力
189
(千度)
能源節約量
18
(公秉油當量/年)
減碳量
101
(公噸/年)
節省費用
2,068 仟元/年
投資金額
101 仟元/年
回收年限
4.8 年
案例說明
F12B-EUVL use Cxxx XLRxxx type chamber for energy saving。
設計理念或改善流程
EUVL Energy saving project:
原type之Cxxx laser chamber因透鏡模組穿透率較差,使用較高電壓激發Laser,會造成較多的電力耗損 [使用新版 type chamber Cxxx laser for new tech。 ]