F12B-EUVL use Cxxx XLRxxx type chamber(L4)
2137
製程
透鏡模組
激光
108年度
案例編號：108-C01-107-PE20 ｜ 行業別：電子零組件製造業 ｜ 技術別：製程設備(PE)
189
(千度)
18
(公秉油當量/年)
101
(公噸/年)
2,068 仟元/年
101 仟元/年
4.8 年
案例說明
F12B-EUVL use Cxxx XLRxxx type chamber for energy saving。
設計理念或改善流程
EUVL Energy saving project：
原type之Cxxx laser chamber因透鏡模組穿透率較差，使用較高電壓激發Laser，會造成較多的電力耗損 [使用新版 type chamber Cxxx laser for new tech。 ]
