節省電力

118

(千度)

能源節約量

11

(公秉油當量/年)

減碳量

65

(公噸/年)

節省費用

266 仟元/年

投資金額

0 仟元/年

回收年限

0.0 年

案例說明

F12P7 RDPC-EPI tool SEX : Gas panel & EV box 風量SSPS要求過高(2,123CMH/set),造成能源的浪費，可再調整至optimization值。 Axxx原廠SSPS : <1> Gas panel : 1,104 CMH/set ; <2> EV box : 1,019 CMH/set。

設計理念或改善流程

Follow F12P7 Epitaxial do exhaust reduction(安全減量)
1.Gas panel管內風量調降 : 710CMH
2.EV box管內風量調降 : 691CMH
安全減量效益 : 66%