標竿案例
無塵室氣密盤查改善
1503
無塵室
負壓狀態
109年度
案例編號:109-C01-108-PE03 | 行業別:電子零組件製造業 | 技術別:製程設備(PE)
節省電力
35
(千度)
能源節約量
3
(公秉油當量/年)
減碳量
18
(公噸/年)
節省費用
86 仟元/年
投資金額
137 仟元/年
回收年限
1.6

案例說明

無塵室氣密盤查改善

設計理念或改善流程

無塵室氣室為一負壓狀態,Fab區為一正壓狀態,當無塵室氣密不佳時,會造成
外氣引入無塵室,並進而造成無塵室空調負荷,此會造成空調耗能,造成冰機負荷,進
而影響無塵室溫濕度調控全面盤查K12各樓層無塵室氣密,如管線穿牆處、庫板破洞、
門縫氣密…等,並進行修補改善。

108-C01-108-PE03-01 無塵室氣密改善工程盤查
108-C01-108-PE03-02 無塵室氣密改善工程洩漏面積

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