無塵室氣密盤查改善
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無塵室
負壓狀態
109年度
案例編號：109-C01-108-PE03 ｜ 行業別：電子零組件製造業 ｜ 技術別：製程設備(PE)
35
(千度)
3
(公秉油當量/年)
18
(公噸/年)
86 仟元/年
137 仟元/年
1.6 年
案例說明
無塵室氣密盤查改善
設計理念或改善流程
無塵室氣室為一負壓狀態，Fab區為一正壓狀態，當無塵室氣密不佳時，會造成
外氣引入無塵室，並進而造成無塵室空調負荷，此會造成空調耗能，造成冰機負荷，進
而影響無塵室溫濕度調控全面盤查K12各樓層無塵室氣密，如管線穿牆處、庫板破洞、
門縫氣密…等，並進行修補改善。
108-C01-108-PE03-01 無塵室氣密改善工程盤查.jpg)
108-C01-108-PE03-02 無塵室氣密改善工程洩漏面積
