標竿案例
EDWARDS Dry Pump(Type :IK500)升級為節能Pump (Type:GX600) project 2016共36台
2542
抽水機
抽氣效率
108年度
案例編號:108-C03-108-PE08 | 行業別:電子零組件製造業 | 技術別:製程設備(PE)
節省電力
662
(千度)
能源節約量
63
(公秉油當量/年)
減碳量
351
(公噸/年)
節省費用
1,523 仟元/年
投資金額
28,800 仟元/年
回收年限
18.9

案例說明

因環保及節能意識抬頭, 又因iK500本身內部設計不佳,影響pump運轉時零組件壽命減短,造成pump本身更換異常,於是,開始進行節能型pump- ixL600和GX600的評估,此兩者的電力消耗分別是0.8kW和1.5kW。現在,廠內的iK500型pump電力消耗為3.6kW,預計upgrade後,ixL600和GX600可為廠內分別節省77.8%和58.3%的節電效益。

設計理念或改善流程

1.產品演進
2.抽氣效率-以pump down到50mtorr
2-1. iK500需26.6秒時間; GX600是22.9秒時間; ixL600則需23.3秒時間;
2-2.故GX600比iK 500快了13.9%; ixL600則比iK500快12.4%。

相關推薦案例-技術別
pic
機台真空Pump 導入ERM (...
pic
Dry Pump真空節能模組導入
pic
ULVAC Sputter PU...
pic
真空系統節能最佳化工程
pic
製一課製程設備生產運轉時間改變
pic
PVD Endura tools...
pic
機台真空Pump 導入ERM (...
pic
Dry Pump真空節能模組導入
pic
真空系統節能最佳化工程
pic
PVD Endura tools...
pic
Etch MXP新機採用節能Dr...
pic
TF-LL/TM更換節能pump
pic
機台真空Pump 導入ERM (...
pic
ULVAC Sputter PU...
pic
CVD L/L pump加裝真空...
pic
eMAX機台導入節能chille...
pic
RIE L/L pump DP ...
pic
F12B-ETC2 tools ...
Top