節省電力

463

(千度)

能源節約量

44

(公秉油當量/年)

減碳量

243

(公噸/年)

節省費用

5,557 仟元/年

投資金額

55,000 仟元/年

回收年限

9.9 年

案例說明

1. 汰換後L/S之F2排放濃度<2ppm以下，大幅提升處理效率。 2. 汰換後每台L/S電量由9.15kW降至7.64kW，評估每年用電量可下降462,966度，佔整廠年用電量0.29%。 3. 汰換後每台L/S N2使用量每台僅約2~3 SLM。 4. NF3之CO2排放量概估可降到245公噸/年。

設計理念或改善流程

原舊機MAT-Local scrubber共72台，使用於TF區PFC gas機台佔1/2，因多數使用超過15年以上，其F2效率已無法再提升及改善，帶來廠區周遭環境污染，故將舊機汰換。

改善前：

原L/S尾氣F2處理效率差(排放濃度約240PPM以上)，每台用電量9.15度，N2使用量每台約60~80 SLM，導致N2使用量過高，NF3之CO2排放量達26,394公噸/年。

改善後：

更換高效率電熱式Local Scrubber(全廠共35台)，可降低F2排放濃度，汰換後每台L/S電費用量亦可降至7.64kW/hr，評估每年用電量可下降462966kW，佔整廠年用電量0.29%， N2使用量每台降至約2~3 SLM，NF3之CO2排放量概估可大幅降至245公噸/年，整體節能效益皆提升。

效益計算說明：

節省電力：(9.15kW×24×365×35)-(7.64kW×24×365×35)=462,966度/年=462.97千度/年。

節省電費：462.97千度×2.3元/度=1,064.83仟元/年。

Cost down Local scrubber維修費用：4,492,263元/年=4,492.26仟元/年。

節省費用：1,064.83+4,492.26=5,557.09仟元/年。