案例說明

該廠之IPI LSC為前段尾氣處理設備，其原理是利用電能將反應爐加熱到800度的高溫來裂解廢氣並加上10 L/min RCW來降溫高溫氣體並清洗粉塵；針對水量節能的方面該廠試著在機台容許範圍內將水流量調降為5.5 L/min，使每台節省4.5L/min以提升節能效益。

設計理念或改善流程

該廠改善方法如下：

1.調整RCW水流量：

調整前RCW用水量為10 L/min調整後流量降為5.5 L/min，每台節省4.5L/min。為確認此改變不會影響到機台效能，該廠分別抽測每台製程機台中的pH值和水溫都符合在機台容許的範圍內。

2.改善效益 :

目前該廠IPI Scrubber共有26台，以每台每年可省下2,365公噸計算，共可節省61,490 公噸。

而現行RCW處理成本每公噸 20元，則每年可減少水處理支出1,230仟元。

3.實體說明：

4.原理說明：

█ IPI-310機台主要裝設在ETCH&DIFF製程區域來處理HCL、HF、SiH4廢氣，其處理主要先透過循環水在入口處洗下粉塵及水溶性氣體(HF)，再利用電能將反應爐加熱到800度的高溫加上通入CDA，利用高溫和O2來裂解SiH4等有毒及可燃性氣體，最後再透過後段灑水清洗殘餘的粉塵和降溫[圖一]。

█ 尾氣處理流程：

█調降RCW水流量的設定：

該廠將IPI-310 水流量從原先的10 L/min調降流量降為5.5L/min，每台節省4.5L/min。為確認此調整並不會影響到機台效能，我們分別抽測每個製程機台中的pH值和水溫都符合在機台容許的範圍內[圖二]。由表內可看出調降水量至5.5 L/min後pH值下降為4，為此我們與IPI原廠確認此parts 內的coating層材質的耐酸鹼值上限為45%HF(pH值1.4-1.7)且耐溫可達120°，所以水量調降後水質PH值4並不影響parts life time，因此將Scrubber RCW流量設定為5.5L/min是可行的，執行此節能專案可節省45%水量損耗。