F12B-DIF2 Implant PCW Optimization
2015
製程冷卻水
108年度
案例編號：108-C01-106-PE21 ｜ 行業別：電子零組件製造業 ｜ 技術別：製程設備(PE)
21
(千度)
2
(公秉油當量/年)
12
(公噸/年)
48 仟元/年
0 仟元/年
0.0 年
案例說明
F12B-DIF2 Implant PCW Optimization，F12B-DIF2 Implant 製程冷卻 PCW 原始流量 150 L/min , HCS 每年能源消耗35079.5952 Kwh ，因應節能減碳專案，降低PCW流量，將可達到節能效果。
設計理念或改善流程
F12B-DIF2 Implant PCW Optimization，F12B-DIF2 Implant製程冷卻 PCW原始流量150 L/min ,HCS每年能源消耗35079.5952 Kwh，因應節能減碳專案，降低PCW流量，將可達到節能效果。
