ETC5_Energy saving by Cooling unit PCW reduction on DVP tool
2130
製程冷卻水
108年度
案例編號：108-C01-105-PE03 ｜ 行業別：電子零組件製造業 ｜ 技術別：製程設備(PE)
103
(千度)
10
(公秉油當量/年)
55
(公噸/年)
239 仟元/年
0 仟元/年
0.0 年
案例說明
ETC5 tool process use chemical: AX-ooo & AX-xxx. Need cooling down temp to 35℃ from 59℃ during chemical exchange. It will make PCW waste 126144m^3 /year。
設計理念或改善流程
1.ETC5 tools x 3 chemical drain pipe material use PFA+SUS(P7 start-up)。
2.Bypass cooling unit loop & saving PCW usage。
3.PCW total saving 126144m^3 = 103362.4 kWh/Year。
