F12B-ETC2 tools Exx series pump PCW reduction
2280
製程
製程冷卻水
108年度
案例編號：108-C01-106-PE27 ｜ 行業別：電子零組件製造業 ｜ 技術別：製程設備(PE)
25
(千度)
2
(公秉油當量/年)
14
(公噸/年)
56 仟元/年
0 仟元/年
0.0 年
案例說明
F12B-ETC2 tools Exx series pump’PCW always fully open(PCW flow 約8.x L/min), vendor 原廠建議PCW流量最佳值為6 L/min。
設計理念或改善流程
F12P7 Etch tools : PCW flow from 8 to 6 LPM，藉由調整 FAC PCW manual valve，調降流量,，達到節能效果。
