標竿案例
HFAC-3 FAC Backup LSC Stop Running
2655
製程
停機
108年度
案例編號:108-C01-106-PE24 | 行業別:電子零組件製造業 | 技術別:製程設備(PE)
節省電力
4,177
(千度)
能源節約量
399
(公秉油當量/年)
減碳量
2,314
(公噸/年)
節省費用
9,438 仟元/年
投資金額
0 仟元/年
回收年限
0.0

案例說明

KT-xxx &WTC-xxx Backup LSC Stop Running。

設計理念或改善流程

Backup LSC (Local Scrubber)可停機節能。

相關推薦案例-技術別
pic
特殊機台Local Scrubb...
pic
清洗機第一區噴洗馬達節能改善
pic
F12B-ETC5 SU-xxx...
pic
UPW Loop循環量減量for...
pic
機台真空Pump 導入ERM (...
pic
ULVAC Sputter PU...
pic
特殊機台Local Scrubb...
pic
F12B-ETC5 SU-xxx...
pic
UPW Loop循環量減量for...
pic
IPI、 LSC、 RCW節能措...
pic
F12B-ETC2 Tools ...
pic
F12B-ETC3 dry Pu...
pic
F12B-ETC5 SU-xxx...
pic
UPW Loop循環量減量for...
pic
ULVAC Sputter PU...
pic
F12B-ETC2 Tools ...
pic
F12B-ETC3 dry Pu...
pic
F12CVD-2 tools c...
Top