F12B-ETC2 Tools ATS 節能 chiller
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製程
冷水機
108年度
案例編號:108-C01-106-PE23 | 行業別:電子零組件製造業 | 技術別:製程設備(PE)
節省電力
472
(千度)
能源節約量
45
(公秉油當量/年)
減碳量
262
(公噸/年)
節省費用
1,067 仟元/年
投資金額
0 仟元/年
回收年限
0.0 年
案例說明
Dry etching process 全面安裝節能 chiller。
設計理念或改善流程
使用節能 chiller ATS chiller Dxxx-FE to Dxxx-SE。