F12B-ETC2 Tools ATS 節能 chiller
2367
製程
冷水機
108年度
案例編號：108-C01-106-PE23 ｜ 行業別：電子零組件製造業 ｜ 技術別：製程設備(PE)
472
(千度)
45
(公秉油當量/年)
262
(公噸/年)
1,067 仟元/年
0 仟元/年
0.0 年
案例說明
Dry etching process 全面安裝節能 chiller。
設計理念或改善流程
使用節能 chiller ATS chiller Dxxx-FE to Dxxx-SE。
