F12CVD-2 tools change to green pump for energy saving
2412
製程
綠能
製程冷凝水
108年度
案例編號：108-C01-107-PE23 ｜ 行業別：電子零組件製造業 ｜ 技術別：製程設備(PE)
431
(千度)
41
(公秉油當量/年)
230
(公噸/年)
41 仟元/年
25 仟元/年
0.0 年
案例說明
F12CVD-2 tools change to green pump for energy saving。
設計理念或改善流程
F12CVD-2 tools change to green pump for energy saving project:
CVD-2 tools全面使用節能 Pump SDExxx & IXHxxx pump。
