F12B-PVD2 tools pump change to green pump
2410
製程
製程冷凝水
綠能
108年度
案例編號：108-C01-107-PE19 ｜ 行業別：電子零組件製造業 ｜ 技術別：製程設備(PE)
805
(千度)
77
(公秉油當量/年)
429
(公噸/年)
1,854 仟元/年
0 仟元/年
0.0 年
案例說明
PVD tools pump change to green pump (Exxx Ixx-xxx) Project: 更換F12B-PVD2 tools pump : Axxx pump to Exxx Ixx-xxx green pump
設計理念或改善流程
PVD tools pump change to green pump (Exxx Ixx-xxx) Project:
更換F12B-PVD2 tools pump : Axxx pump to Exxx Ixx-xxx green pump
