製程排氣回收、無塵室、非生產層(Subfab)
900
排氣回收
無塵室
98年度
案例編號：98-PE-004 ｜ 行業別：電子零組件製造業 ｜ 技術別：製程設備(PE)
9,525
(千度)
910
(公秉油當量/年)
5,277
(公噸/年)
17,716 仟元/年
0 仟元/年
0.0 年
案例說明
檢討一般排氣的空氣條件，符合無害人體、不影響溫濕度與潔淨度條件者回收。
設計理念或改善流程
一般排氣回收
<改善後>設置回收風車，將符合無害人體、不影響溫濕度與潔淨度條件的排氣回收至無塵室的非生產層(Subfab)繼續循環，減量補氣量。(如圖)
