節省電力

2,436

(千度)

能源節約量

233

(公秉油當量/年)

減碳量

1,349

(公噸/年)

節省費用

5,772 仟元/年

投資金額

700 仟元/年

回收年限

0.1 年

案例說明

將機台廢熱(General Exhaust ) 直接排入無塵室環境再循環，除減少排氣風車之耗電量外，並減少昂貴的無塵室外氣空調補給氣耗量，以降低廠區冰水耗用達到節能目的。

設計理念或改善流程

1.動機:
a.送入Fab 的空氣是非常昂貴的
b.有減量、回收空間嗎?
c.會影響產品嗎?
d.節能改善需要大投資嗎?
2.策略:
機台廢熱(General Exhaust ) 直接排入無塵室環境再循環，消除浪費
3.手法:
a.熱排進入再循環，消除浪費 (Dry Pump、Power Rack 廢熱不排出無塵室，節省冰水能耗)
b.以Align 精神進行減量 (Local Scrubber 、各類製程排氣減量)
c.杜絕非必要浪費(Gas Box 進行封口)