製程機台一般排氣回收節能
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機台
排氣
回收
節能
103年度
案例編號:103-PE-011 | 行業別:電子零組件製造業 | 技術別:製程設備(PE)
節省電力
15,323
(千度)
能源節約量
1,464
(公秉油當量/年)
減碳量
8,489
(公噸/年)
節省費用
42,293 仟元/年
投資金額
0 仟元/年
回收年限
0.0 年
案例說明
該廠依據製程機台各排氣之廢氣特性(氣體成分、Particle數量、溫度、濕度等),採集後進行檢驗測試,確認不影響人體及無塵室,進行回收,減少無塵室外氣空調箱正壓空氣供應量,以達節能之效。
設計理念或改善流程
該廠改善狀況如下:
1.該廠運轉初期,就先針對製程設備之一般排氣進行回收評估,其評估將部分對人體無害且溫度、溼度符合無塵室環境標準之一般排氣,經過濾處理後,排放至無塵室subfab(如附圖),以減少MAU外氣補充量。
2.機台運轉期間,採集各機台排放之廢氣,進行化驗分析,以確認是否符合回收標準。
3.經化驗分析後,該廠針對製程烘烤機台(Oven)、Vacuum Pump&控制器散熱之一般排氣進行回收。