標竿案例
製程機台一般排氣回收節能
898
機台
排氣
回收
節能
103年度
案例編號:103-PE-011 | 行業別:電子零組件製造業 | 技術別:製程設備(PE)
節省電力
15,323
(千度)
能源節約量
1,464
(公秉油當量/年)
減碳量
8,489
(公噸/年)
節省費用
42,293 仟元/年
投資金額
0 仟元/年
回收年限
0.0

案例說明

該廠依據製程機台各排氣之廢氣特性(氣體成分、Particle數量、溫度、濕度等),採集後進行檢驗測試,確認不影響人體及無塵室,進行回收,減少無塵室外氣空調箱正壓空氣供應量,以達節能之效。

設計理念或改善流程

該廠改善狀況如下:

1.該廠運轉初期,就先針對製程設備之一般排氣進行回收評估,其評估將部分對人體無害且溫度、溼度符合無塵室環境標準之一般排氣,經過濾處理後,排放至無塵室subfab(如附圖),以減少MAU外氣補充量。

2.機台運轉期間,採集各機台排放之廢氣,進行化驗分析,以確認是否符合回收標準。

3.經化驗分析後,該廠針對製程烘烤機台(Oven)Vacuum Pump&控制器散熱之一般排氣進行回收。

 

 

相關推薦案例-技術別
pic
機台熱排氣減量
pic
Dry Pump真空節能模組導入
pic
製程排氣減量
pic
製程排氣系統節能
pic
製程排氣回收、無塵室、非生產層(...
pic
空壓機管路維護
pic
機台熱排氣減量
pic
空調冰水機設備節能
pic
空壓機系統改善
pic
無塵室節能式全外氣空調箱
pic
冷卻水塔節能最優化
pic
製程排氣回收、無塵室、非生產層(...
pic
機台熱排氣減量
pic
無塵室節能式全外氣空調箱
pic
空壓機效率提昇
pic
製程排氣減量
pic
製程排氣系統節能
pic
空壓機冷卻器清洗節能改善
Top