無塵室最佳化運轉調整，降低正壓及洩壓風門調整改善
1813
無塵室
洩壓風門
104年度
案例編號：104-UT-077 ｜ 行業別：電子零組件製造業 ｜ 技術別：公用設備(UT)
301
(千度)
29
(公秉油當量/年)
167
(公噸/年)
835 仟元/年
0 仟元/年
0.0 年
案例說明
潔淨室正壓調整由30~35Pa降至10~15Pa。無塵室氣流改善洩壓風門封閉。
設計理念或改善流程
該廠改善前無塵室四周圍因洩壓風門及過大的正壓由縫隙洩漏溫度約23度。
無塵室維持正壓的環境，為恐外界空氣由無塵室的隙縫中洩漏進來而破壞潔淨度。維持無塵室正壓是一耗能行為，因需補充足夠的外氣。本廠無塵室正壓設定值多為30或35 Pa，在製程良率許可下將正壓下降為10~15 Pa。另將洩壓風門封閉。
改善後:將正壓及洩壓風門調整後，無塵室四周溫度回至一般外氣溫度左右，以節約能源。
