案例說明

該廠進行以下之節能措施： 1.製程機台排氣風量進行個別機台最佳化調整。 2.附屬機台進行排氣運轉模式調整。 3.製程機台一般排氣廢熱再利用。

設計理念或改善流程

1.製程機台排氣靜壓現況使用壓力均不一致，參考同系列機台運轉狀況進行

個別機台最適化調整，調降風量8,860CMH。

節省電量8,860CMH’(16.2kW/CMH+ 30kW/CMH)=409MWh /年

2.附屬清洗機台，於非清洗時間，進行機台排氣風門關閉或排氣 Damper調整，以便對於無運轉之清洗機台進行適當減量，可調降風量2,885CMH。

節省電量2,885CMH’(16.2kW/CMH+ 30kW/CMH)=133MWh /年

3.對於尚未move in之製程機台，針對有一般排氣需求機台進行清查，確認純排放廢熱無污染性之排氣，則直接排入潔淨室之高架地板下方環境內，進行廢熱再利用，以減少排氣排風量，並可減少外氣空調箱之補充風量，預估調降風量3,000CMH

節省電量3000CMH’(16.2kW/CMH+ 30kW/CMH)=138MWh /年