F12CMP-2 tools change green chiller type for energy saving
2451
製程
直流
變頻
綠能
冷水機
108年度
案例編號：108-C01-107-PE12 ｜ 行業別：電子零組件製造業 ｜ 技術別：製程設備(PE)
377
(千度)
36
(公秉油當量/年)
201
(公噸/年)
868 仟元/年
0 仟元/年
0.0 年
案例說明
F12CMP-2 tools change green chiller type for energy saving。
設計理念或改善流程
CMP tools change green chiller type for energy saving project:
Orignal CMP tool’s Chiller chiller-Hxxx，並因應全球的節能減碳計畫，更改使用chiller-Hooo(直流變頻)，以達成省電之功效。
