F12CMP-2 tools change green chiller type for energy saving
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製程
直流
變頻
綠能
冷水機
108年度
案例編號:108-C01-107-PE12 | 行業別:電子零組件製造業 | 技術別:製程設備(PE)
節省電力
377
(千度)
能源節約量
36
(公秉油當量/年)
減碳量
201
(公噸/年)
節省費用
868 仟元/年
投資金額
0 仟元/年
回收年限
0.0 年
案例說明
F12CMP-2 tools change green chiller type for energy saving。
設計理念或改善流程
CMP tools change green chiller type for energy saving project:
Orignal CMP tool’s Chiller chiller-Hxxx,並因應全球的節能減碳計畫,更改使用chiller-Hooo(直流變頻),以達成省電之功效。