L8B Array WMA Cu酸二代酸Heater節能
2022
製程
Cu離子
加熱器
108年度
案例編號：108-C05-107-PE06 ｜ 行業別：電子零組件製造業 ｜ 技術別：製程設備(PE)
737
(千度)
70
(公秉油當量/年)
393
(公噸/年)
1,628 仟元/年
0 仟元/年
0.0 年
案例說明
WMA機Cu一代酸因受制於補H2O2，螯合劑比例等Cu離子濃度受限(<6K ppm)，Cu二代銅酸導入後可有效拉長lifetime(>6K，max10K ppm)，藉酸劑自體放熱特性，可直接減輕機台Heater 耗能功率達成節能。
設計理念或改善流程
針對WMA100/500生產Cu process機台進行驗證；當Cu離子>3,500 ppm開始節能(heater支數自動off不作功)。
