F12CVD-2 Ixxx green pump project
1848
製程
綠能
製程冷凝水
108年度
案例編號：108-C01-107-PE24 ｜ 行業別：電子零組件製造業 ｜ 技術別：製程設備(PE)
92
(千度)
9
(公秉油當量/年)
48
(公噸/年)
212 仟元/年
12 仟元/年
0.1 年
案例說明
F12CVD-2 Ixxx green pump for energy saving。
設計理念或改善流程
F12CVD-2 Ixxx green pump for energy saving project:
CVD tools全面使用節能Pump 由IHxxx 轉換成Ixxx。
