案例說明
該廠為將排氣系統節能最佳化調整,實施以下之措施: 1)洗滌塔填充材更換及清洗保養節能。 2)潔淨室內31台曝光機熱排氣導入RCU回潔淨室再使用,減少新鮮空氣量。 3)網版清洗區鼓風機熱排風影響現場空調改善。 4)檢查製程內各線別的排氣量,將排氣量降低。
設計理念或改善流程
該廠改善手法說明如下:
1)洗滌塔潤濕因子應大於0.1 m2/hr潤濕因子=洗滌循環水量m3/hr÷(填充物 比表面積m2/m3×洗滌塔填充段水平截面積m2) 選用較 低比表面積填充材為100 m2/m3(原136 m2/m3 or 128 m2/m3),可使降低減少洗滌循環水量,以降低洗滌水泵耗能達到節能功效(目前已完成2台洗滌塔填充材更換)。訂定塔體壓損>70 mmAq即進行清洗保養,已完成系統2/4/6/8/13清洗保養平均壓損降低 45mmAq,以達到風機節能功效。
2)全廠潔淨室內31台曝光機熱排氣(8”)就近導入RCU再回潔淨室使用,以減少潔淨室新鮮空氣量,進而減少新鮮空氣傳輸風機及空調/潔淨處理電能,以達到節能之目的。
3)一般區水平線烘乾段及檯面吸氣用鼓風機共29台,鼓風機熱排風(>60℃)直接排放工作現場,大量熱風影響空調效能,亦造成現場作業人員不適,配管以熱排氣系統將熱風風排除,節省現場空調能源消耗。
4)二樓網版清洗區非操作時間抽風關閉 於抽風管上加裝電動控制風門 (藉由電動風門控制抽風之開關達到節能效益 ) 定時自動控制關閉抽風。及加裝延遲繼電器控制電動風門 (按一次抽風開關後自動計時關閉抽風,減少操作人員忘關抽風耗能) 。
5)另做下列改善A.迴焊爐(2台):啟動時才會排氣 B.超音波+Deflux:啟動時才會排氣 C.鋼板清洗機:啟動時才會排氣 D.暉盛電漿清洗機(2台)啟動時才會排氣 E.OSP排氣管:排氣量固定,啟動時才會排氣 F.揚橋水洗線(4台):每台3各液氣分離槽&1支排氣管,目前將排氣閥開由全開改為3/4開啟。