F12B-DIF2 Implant Tools Exhaust energy saving
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製程
風速
排氣
108年度
案例編號:108-C01-106-PE20 | 行業別:電子零組件製造業 | 技術別:製程設備(PE)
節省電力
893
(千度)
能源節約量
85
(公秉油當量/年)
減碳量
495
(公噸/年)
節省費用
2,018 仟元/年
投資金額
0 仟元/年
回收年限
0.0 年
案例說明
F12B-DIF2 Implant Tools機台內部GEX 調整到150 Pa,藉此調降風速達到節能。
設計理念或改善流程
F12B-DIF2 Implant Tools Exhaust energy saving project 調整GEX flow : 300Pa -> 150 Pa,Then使用風速計量測 各機台風速變化用以計算節電量。