F12B-DIF2 Implant Tools Exhaust energy saving
2188
製程
風速
排氣
108年度
案例編號：108-C01-106-PE20 ｜ 行業別：電子零組件製造業 ｜ 技術別：製程設備(PE)
893
(千度)
85
(公秉油當量/年)
495
(公噸/年)
2,018 仟元/年
0 仟元/年
0.0 年
案例說明
F12B-DIF2 Implant Tools機台內部GEX 調整到150 Pa,藉此調降風速達到節能。
設計理念或改善流程
F12B-DIF2 Implant Tools Exhaust energy saving project 調整GEX flow : 300Pa -> 150 Pa，Then使用風速計量測 各機台風速變化用以計算節電量。
