標竿案例
ML5AT1 L5B SPT oTP 製程專機PUMP減量
382
SPT
Dry Pump
OTP
110年度
案例編號:110-C03-110-PE18 | 行業別:電子零組件製造業 | 技術別:製程設備(PE)
節省電力
162
(千度)
能源節約量
15
(公秉油當量/年)
減碳量
82
(公噸/年)
節省費用
359 仟元/年
投資金額
0 仟元/年
回收年限
0.0

案例說明

在不影響製程情況下,減少 Dry Pump使用數量,達到節電效益。

設計理念或改善流程

L5B SPT 機台LL CH有5顆DRY PUMP,機台於OTP製程中,因LL須降低抽真空斜率減少破
片問題有鑑於此,在不影響製程情況下,減少Dry Pump使用數量,關閉pump可降低單台使用電力100%的耗損, 減量後單台pump讀表電流19A->0A=節能19A
(OTP專機為SPT10,將LL Dry pump 使用數量減少兩台,而SPT30為輔助機台,將LL Dry Pump 使用數量減少一台,如此故可達省電之功效)
節能效益計算式:
1.732*208V*19A*0.9/1,000*24小時×365天*3台=161,894kWh
抑制二氧化碳排放量= 161,894 kWh*0.509 Kg*二氧化碳/kWh/1,000 = 82.404 公噸/年.
110-C03-110-PE18_年度節能效益計算
110-C03-110-PE18_ML4AE2 A2STA設備降低Heater使用數量節電

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