WET-Tool_reduce DIO3 idle flow
1857
製程
發電機
閒置流量
108年度
案例編號：108-C01-106-PE05 ｜ 行業別：電子零組件製造業 ｜ 技術別：製程設備(PE)
15
(千度)
1
(公秉油當量/年)
8
(公噸/年)
34 仟元/年
0 仟元/年
0.0 年
案例說明
DNS SU-xxxx DIO3 generator idle flow is as same as process，36 slm DIW direct to drain as DIO3 idle。
設計理念或改善流程
For DIO3 idle flow reduction ( ~80% saving as DIO3 idle)
Idle pressure 130＞＞10Kpa , Flow 36＞＞13slm
