NF3

544,136

(公斤／年)

能源節約量

544,136

(公秉油當量/年)

減碳量

544,136

(公噸/年)

節省費用

4,995 仟元/年

投資金額

0 仟元/年

回收年限

0.0 年

案例說明

該廠為將製程設備特殊氣體NF3減量，實施以下之措施： 1.製程機台減少NF3 Clean時間。 2.降低產品膜厚，減少chemical 用量(TEB/TEOS/TEPO)及Clean 氣體用量NF3用量減量。

設計理念或改善流程

該廠之改善狀況如下：

99年度NF3減量：

  1.DTA機型減少Clean gas時間100→65sce，減少NF3用量184,292 kg/年。

  2.DAM機型減少Clean gas時間15→11.1sce，減少NF3用量708kg/年。

100年度NF3減量：

  1.DTA機型減少Clean gas時間100→80 sce，減少NF3用量105,310kg/年。

  2.DAA機型減少Clean gas時間300→100 sec，減少NF3用量280,826kg/年。

· 方法：減少Clean gas 時間及減少用量。

  原理：NF3= N+F+F+F → SiO2 + F = SiF +O2 (降低產品膜厚)。