增設15度PCW供曝光機使用
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曝光機
製程冷卻水
冰水主機
節能
101年度
案例編號：101-PE-001 ｜ 行業別：電子零組件製造業 ｜ 技術別：製程設備(PE)
6,435
(千度)
615
(公秉油當量/年)
3,565
(公噸/年)
13,469 仟元/年
2,500 仟元/年
0.2 年
案例說明
該廠增設15度C PCW單元供黃光曝光機使用，避免降低現有系統(18度C PCW)設定溫度，以減少冰水主機負載。
設計理念或改善流程
改善概念如下：
1.於機台端增加一組15度PCW管路，獨立供應，原本18度PCW系統不用降溫。
2.若PCW調降1度，冰水也需調降一度，冰水主機單位耗電量增加0.065kW/RT：預計每年增加用電量：11,383RTx24hrx365dayx0.065kW/RT = 6,481,480 kWh/年。
3.系統流程圖如下：
實際現場配置圖：
