節省電力

651

(千度)

能源節約量

62

(公秉油當量/年)

減碳量

361

(公噸/年)

節省費用

1,628 仟元/年

投資金額

0 仟元/年

回收年限

0.0 年

案例說明

將Scanner tool由CAS供應變更由 AMC local filter供應，故可將CAS turn off。

設計理念或改善流程

CAS易受外氣變動及風車異常造成Scanner異常等問題。經由測試結果得知Scanner tool之ACC安裝AMC Local filter，其outlet TOC測值約4ppb，比CAS供應測值5~10ppb更好。所以將Scanner tool由CAS供應變更由AMC local filter供應，即關閉CAS*4台而達到Energy saving。

F12P6 CAS* 4 sets Turn-Off(單台CAS:18.59kW)之節能效益：
Total : 18.59(kW) * 4 sets = 74.36 kW
效益計算說明： 年節省電力：74.36(kW)x24(hr/日)x365(日/年) = 651.39 仟度/年 節省電費金額：651.39 (仟度/年) * 2.5 (元/度) = 1,627.07 仟元/年 抑制二氧化碳排放：651.39 * 0.521 = 339.38 公噸/年