標竿案例
Off Wet clean DIO3 unit
1471
DIO3
106年度
案例編號:106-C10-106-PE03 | 行業別:電子零組件製造業 | 技術別:製程設備(PE)
節省電力
281
(千度)
能源節約量
27
(公秉油當量/年)
減碳量
155
(公噸/年)
節省費用
702 仟元/年
投資金額
0 仟元/年
回收年限
0.0

案例說明

YOY improve by co-work with PE to do productivity CIP and在productivity improve 的情形下多餘的DIO3 會Idle and slow leak,故module off DIO3 unit to saving energy。

設計理念或改善流程



DNS/TEL/LAM 機型之附屬設備DIO3 unit OFF前後比較:
改善前後之各項節能計算(P5:6台, P6: 5台)
節能計算:
1. (節電) : 0.254KW * 24 hr * 365 D * 11 sets= 24.5 千度/year (純水) : 10.8 LPM*60min*24hr*365D/1000L=61.6 千噸24.5 + 61.6*4.159(能源轉換率) = 280.64 千度

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